Neuer Auftrag für Aixtron
Im letzten Jahr übernahm Aixtron das Unternehmen Genus. Ziel der gemeinsamen Aktivitäten ist eine Stärkung im Bereich Produktentwicklung. Mit dem neuen Auftrag sieht sich Aixtron nun auf dem richtigen Weg. In dem neu zu installierenden Werk werden die Prozessmodule mit kombinierter ALD und AVD Technologie integriert. Als einen der ersten Arbeitsschritte nennt Aixtron die Optimierung von DRAM und CMOS Bauteilstrukturen unter 45 nm. (erw/rem)
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