Aixtron testet neue Anlagengeneration mit Epistar

Bei Aixtron selbst habe man, nach Aussage von Epistar-Vorstand Dr. Ming-Jiunn Ju, hohe Erwartungen in die Entwicklungsziele für die neue Anlagengeneration gesetzt. Seitens Epistar sprach man davon „schnellstmöglich“ mit der Anlage produzieren zu wollen. Auch Aixtron zeigte sich zufrieden mit den bei Epistar erzielten Fortschritten.

Die Aixtron AG ist ein Anbieter von Depositions-Anlagen für die Halbleiter-Industrie. Das Unternehmen ist dabei international tätig und beliefert Hersteller von Bauelementen für elektronische und opto-elektronische Anwendungen auf Basis von Verbindungs-, Silizium- und organischen Halbleitermaterialien sowie Kohlenstoff-Nanostrukturen. Diese Produkte kommen unter anderem in der Displaytechnik, der Signal- und Lichttechnik oder im Bereich Glasfaser-Kommunikationsnetzen zur Anwendung. (kat/ami)