Aixtron testet neue Anlagengeneration mit Epistar

AACHEN (IT-Times) - Die Aixtron AG (WKN: A0WMPJ) will sich mit einer neuen Anlage weitere Anteile auf dem Chipmarkt sichern. Grundlage dafür ist eine von Elpida durchgeführte Epitaxie.

Aixtron gab bekannt, dass Epistar die nun getestete MOCVD-Anlage für einen Betrieb in der Massenproduktion vorbereite. Dabei setzt das deutsche Unternehmen in erster Linie auf schneller aufeinanderfolgende Produktionsabläufe. Diese werde unter anderem dadurch erreicht, dass ein Ausheizen des Reaktors oder ein Austausch von Reaktorteilen notwendig werde. Nach Angaben von Aixtron könne man, verglichen mit Vorgängersystemen, den Durchsatz mehr als verdoppeln.