Aixtron: Taiwanese nimmt Planetenreaktor-Anlage in Betrieb

Spezial-Maschinenbau

Dienstag, 3. März 2015 12:50
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HERZOGENRATH (IT-Times) - Der deutsche Halbleiter-Maschinenbauer Aixtron S.E. gab heute bekannt, dass ein taiwanischer Kunde eine Planetenreaktor-Anlage von Aixtron zur Herstellung einer neuen Generation von Leistungselektronik in Betrieb genommen hat.

Aixtron hat demnach eine AIX G5 WW (Warm-Wall) - Anlage zur Herstellung von Siliziumkarbid (SiC) an die taiwanische Episil Semiconductor Wafer Inc. geliefert. Episil stellt siliziumbasierte Bauteile zur Leistungssteuerung sowie von integrierten Schaltungen her. Das Produkt-Portfolio soll mit der neuen Anlage von Aixtron nun auch auf SiC-basierte Bauelemente ausgeweitet werden, so Dr. Ian Chen, Vorstandsvorsitzender von Episil.

Meldung gespeichert unter: Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD)

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