Aixtron liefert Black Magic CVD-Anlage nach Japan

AACHEN (IT-Times) - Das Nagoya Institute of Technology in Japan gab eine Aixtron Black Magic II CVD-Anlage in Auftrag. Der deutsche Anlagenhersteller zur Halbleiterproduktion, die Aixtron AG (WKN: A0WMPJ), wird demnach in der zweiten Geschäftsquartal 2009 die Anlage dort installieren.

Die Black Magic II Anlage in einer Zwei-Zoll-Waferkonfiguration kombiniert thermische mit plasmagestützter Gasphasenabscheidung und wird zur Abscheidung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) bei der Entwicklung von Technologien für mikroelektronische Anwendungen eingesetzt. Besonders die Strombelastbarkeit sowie die Wärmeleitfähigkeit von CNTs machen sie interessant für die Elektronikindustrie, auch wenn bisher noch keine Produkte auf dem Markt sind, welche die Nanoröhren anwenden. Hauptsächlich werden in  der universitären und industriellen Forschung Applikationen entwickelt. Der Einsatz ist unter anderem als Werkstoff oder in der Halbleitertechnik möglich. Das Nagoya Institute of Technology plant die Entwicklung von Anwendungen im Bereich Integrierter Schaltungen (ICs), neuartiger Kühlelemente, Feldeffekttranistoren (FETs), biologischer Sensoren und anderer nanotechnologischer Komponenten.