Aixtron forscht an Philipps-Uni

AACHEN - Wie die Aixtron AG (WKN: 506620) heute bekannt gegeben hat, wird der Hersteller von Halbleiterproduktionsanlagen die Philipps-Universität Marburg mit einem Close Coupled Showerhead (CCS) CRIUS-Clustersystem mit zwei 300mm Modulen für Silizium- und III/V-Verbindungshalbleiter ausrüsten.

Die speziell auf die Abscheidung von Verbindungshalbleitern auf Standard-Siliziumwafern geeignete Anlage soll im zentralen Technologielabor für Materialwissenschaften der Philipps-Universität zum Einsatz kommen.