Aixtron erhält Auftrag für MOCVD-Technologie von EpiGaN aus Belgien
Maschinenbau: Halbleiterausrüstung
EpiGaN will mit der neuen Aixtron-Anlage die Herstellung von GaN-Leistungselektronik im belgischen Werk zur Produktion von großen Wafern erweitern.
Genauer gesagt geht es um die Fertigung von GaN-on-Si1 (Galliumnitrid-auf-Silizium) - und GaN-on-SiC2 (Galliumnitrid-auf-Siliziumkarbid) - Epiwafern mit großem Durchmesser (150mm- und 200mm).
Dafür liefert der deutsche Maschinenbauer eine MOCVD-Produktionsanlage der Baureihe AIX G5+ C. EpiGaN hat den Unternehmenssitz in Hasselt, Belgien und ist bereits Kunde von Aixtron.
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