Aixtron beteiligt sich an EU-Forschungsprojekt für Graphen und 2D-Materialien

Die Aixtron S.E. beteiligt sich an Europas Pilotlinie für Graphen und 2D-Materialien, die Teil des "Graphene Flagship" ist. Die Finanzierung der experimentellen 2D-Pilotlinie (2D-EPL) erfolgt durch die Europäische Kommission (EU-Kommission).

Ziel des Projektes ist es, Graphen und verwandte 2D-Materialien in die Halbleiterplattform zu integrieren und so ein „geeignetes europäisches Umfeld für die Prototyp-Produktion von GRM-basierter Elektronik, Photonik und Sensoren schaffen.“

Aixtron S.E. und auch die britische Tochtergesellschaft Aixtron Ltd. (UK) sind Partner der Initiative 2D Experimental Pilot Line des "Graphene Flagship" und für erforderlichen Abscheide-Methoden und -prozesse verantwortlich.

Um Graphen- und 2D-Materialien zur Marktreife zu bringen und in Halbleiterbauelemente zu integrieren, wird Aixtron einen Reaktor für den Prozess der metallorganisch-chemischen Gasphasenabscheidung (Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) entwickeln.

Mit diesem MOCVD-Reaktor können diese Materialien direkt auf großen Substraten von bis zu 300 mm Durchmesser abgeschieden werden. Mit Hilfe dieser Methode können 2D-Materialien und die damit verbundenen Heterostrukturen in Industriequalität hergestellt werden.

Aixtron erforscht hierfür innovative Prozesse und entwickelt ein System für einen automatisierten Transfer von 2D-Materialstrukturen auf angepasste Bauelementstrukturen.