ASML setzt auf EUV-Technologie für Chipproduktion

AMSTERDAM - Der niederländische Halbleiterausrüster ASML Holding N.V. (WKN: 894248) konnte Presseberichten zufolge Kunden für die eigene EUV (Extreme Ultraviolet)-Lösung gewinnen.

Im Jahr 2009 sollen demnach die ersten Test-Auslieferungen beginnen. ASML geht davon aus, dass sich die EUV-Lösungen in Zukunft durchsetzen werden. Diese Lithographie-Lösungen seien den bestehenden Angeboten im KrF-Bereich überlegen. KrF-Lösungen verzeichnen eine Wellenlänge von 248 nm. Die Extreme Ultraviolet-Technologie weise mit einer Wellenlänge von 13,5 nm lediglich ein Fünfzehntel der KrF-Lösungen auf. Diese könnten zwar auf 32 nm reduziert werden, liege aber nach Angaben von ASML dementsprechend noch immer hinter den EUV-Lösungen.