Aixtron mit weiterem Auftrag aus Zürich

AACHEN (IT-Times) - Der Anlagenhersteller Aixtron hat heute einen Auftrag für eine 6-Zoll Black Magic PECVD-Anlage erhalten.

Beauftragt wurde der Aachener Hersteller von Anlagen für die LED-Herstellung von der Eidgenössischen Technischen Hochschule in Zürich. Diese plant in ihrem Forschungszentrum in Rüschlikon, an dem auch IBM beteiligt ist, einwandige Kohlenstoff-Nanoröhren herzustellen. Ausgeliefert und in Betrieb genommen werden soll die Anlage im ersten Quartal 2011.

Bei der Auswahl des Systems sei die Flexibilität entscheidend gewesen, weil unterschiedliche Forschungsgruppen der ETH und von IBM damit arbeiten, so Dr. Christofer Hierold, Professor für Mikro- und Nanosysteme, Abteilung Maschinenbau und Verfahrenstechnik der ETH Zürich. „Die Black Magic erfüllt diese und weitere Anforderungen. Mit dieser Anlage können wir unsere Forschung im Bereich der Nanomaterialien beginnen.“