Aixtron liefert MOCVD-Anlage an Fraunhofer Institut

AACHEN (IT-Times) - Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme (ISE) hat in der vierten Geschäftsperiode 2008 eine MOCVD-Anlage mit automatischer Waferbestückung zur Entwicklung von Mehrfach-Solarzellen beim Anlagenhersteller Aixtron AG (WKN: A0WMPF) bestellt.

Die Aixtron Planetary Reactor-Anlage in einer Konfiguration von 8x6 Zoll wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) und der Fraunhofer-Gesellschaft finanziert und soll Ende 2009 ausgeliefert werden. Eingesetzt werde sie im Rahmen eines Kooperationsprogramms mit Industriepartnern - zur Forschung und Entwicklung der nächsten Generation von Dreifach- und Mehrfachsolarzellen. Das primäre Forschungsziel der Arbeitsgruppe III-V-Epitaxie und Solarzellen am Fraunhofer Institut, nämlich die Umsetzung der Forschungsergebnisse in den Prozess der Massenproduktion, soll mit der neuen MOCVD-Anlage erreicht werden. MOCVD steht dabei für Metal Organic Chemical Vapor Deposition, zu deutsch: Metall-organische Gasphasenabscheidung.

Dr. Frank Dimroth, Leiter der Arbeitsgruppe, erklärte: „Die Optimierung des Reaktordesigns, verglichen mit unserer derzeitigen AIX 2600G3-Anlage, hat mich sehr beeindruckt.“ Die Entscheidung fiel auf eine Aixtron MOCVD- Anlage, da durch die Planetary Reactor-Technologie eine sehr hohe Flexibilität und Reproduzierbarkeit erzielt werden könne. Das weite Prozessfenster könne dazu genutzt werden, neue Technologien zu entwickeln, die auf Verbindungshalbleitern basieren. Die AIX 2800G4 R Anlage ermögliche außerdem die Waferkonfiguration flexibel bis auf 8,5 Zoll zu vergrößern.