Aixtron liefert Anlagen nach Belgien

Dienstag, 17. Juli 2012 um 10:13
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AACHEN (IT-Times) - Maschinenbauer Aixtron hat mit dem belgischen EpiGaN einen Hersteller von epitaxialen III-Nitrid-Materialien beliefert. Die zwei Aixtron-Anlagen werden bei der Wafer-Produktion und Entwicklung eingesetzt.

Die beiden MOCVD-Anlagen von Aixtron sind sowohl für mehrere 6-Zoll Substrate als auch für ein 8-Zoll Substrat konfigurierbar. Sie sollen zunächst der Herstellung von 6-Zoll GaN-auf-Si-Wafern für Bauelemente der Leistungs- und Hochfrequenzelektronik dienen. Gleichzeitig entwickelt EpiGaN mithilfe der Anlagen die nächste Generation von 200 mm GaN-auf-Si-Wafern. Aixtron hatte für die Herstellung der zwei MOCVD-Anlagen eine eigene Produktionsstätte eingerichtet, wie das Unternehmen in einer heutigen Pressemitteilung mitteilte.

Meldung gespeichert unter: Aixtron, Hardware

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