Aixtron liefert an Chiphersteller Taiwan

Die Aixtron Anlage verfügt über eine patentierte TriJet-Prozesstechnologie für die Serienproduktion. Auch die ALD-Technik erreiche mit dieser Anlage ein neues Leistungsniveau hieß es in der Mitteilung. Man erwartet, dass beide Technologien im Hinblick auf die Chipherstellung künftig an Bedeutung gewinnen werden.

Im Wettbewerbsvergleich liefere die Aixtron Anlage zudem die niedrigsten Betriebs- und Verbrauchskosten, wie Dr. Bernd Schult, COO bei Aixtron, erklärte. Das Interesse großer Chiphersteller sei dabei eine erfreuliche Entwicklung. Man verzeichne eine zunehmende Nachfrage nach der  TriJet Technologie, mit welcher DRAM-Kondensatoren und Flash-Anwendungen der nächsten Generation hergestellt werden können. (kab/rem)