Aixtron AG: Auftrag von NTT Photonics

„Wir kennen Aixtrons MOCVD-Anlagen und schätzen die Qualität des Services. Die Anlagen bieten für die Forschung und Entwicklung die besten Voraussetzungen.“, erklärt Dr. Hiroaki Takeuchi, Executive Manager des NTT Labors für Opto-Elektronik. „Mit der bestehenden CCS-Anlage, mit der wir elektronische Bauelemente auf Galliumnitridbasis (GaN) entwickeln, sind wir sehr zufrieden. Die Close Coupled Showerhead-Anlagen sind sowohl in Japan als auch weltweit für ihre Zuverlässigkeit bekannt. Deshalb sind wir überzeugt, dass diese Anlage unseren Anforderungen gerecht wird. Im Gegensatz zu anderen vertikalen Systemen zeichnet sich diese Anlage durch ihre Prozessstabilität und effiziente Ausnutzung der Ausgangsmaterialen aus.“, so Takeuchi weiter.

Die Aixtron AG ist ein Anbieter von Depositions-Anlagen für die Halbleiter-Industrie. Die Produkte der 1983 gegründeten Gesellschaft werden zur Herstellung von Bauelementen für elektronische und opto-elektronische Anwendungen auf Basis von Verbindungs-, Silizium- und organischen Halbleitermaterialien genutzt. (grh/rem)