Tokyo Electron entwickelt mit IBM

Montag, 1. Dezember 2003 20:43

Tokyo Electron Ltd. (WKN: 865510<TKY.FSE>): Der japanische Hersteller von Fertigungsanlagen für die Chipindustrie Tokyo Electron (TEL) hat eine Entwicklungsvereinbarung mit IBM (NYSE: IBM<IBM.NYS>; WKN: 851399<IBM.FSE>) getroffen. Die beiden Unternehmen wollen einen neuen TERA-Film (Tunable Etch-Resistant Anti-Reflective Coating) entwickeln. Dabei soll es sich um einen nichtspiegelnden und nicht ätzbaren dielektrischen Film handeln. Der Film soll hochauflösendes CMOS-Patterning in der 65 Nanometer-Bauweise ermöglichen.

Tokyo Electron hatte in der letzten Woche eine Kooperation mit dem niederländischen Maschinenhersteller ASML (Amsterdam: ASM<ASM.ASX>; WKN: 868730<AVS.ETR>) bekannt gegeben. Die Unternehmen wollen einzelne Teile des Fertigungsprozesses besser integrieren. (jwd)

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