ASML will Auftrag von Texas Instruments

Im Detail geht es um die Lieferung von Immersion lithography Maschinen, die mit einem Flüssigkeitsfilm arbeiten und dadurch die Produktion von wesentlich kleineren als den bisherigen Chips ermöglichen. In diesem Zusammenhang wird auch von wet lithography gesprochen. TI will ab 2007 auf Basis dieser Technik kleinere Chips produzieren. Wet lithography wird nach Expertenansicht über Erfolg oder Misserfolg der Chip-Ausrüster in den nächsten Jahren entscheiden. ASML liegt dabei derzeit gut im Rennen. Das Unternehmen hat bereits einige Kunden, darunter TSMC, mit Testeinheiten beliefert. (dbr)

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