ASML schmiedet neue Allianz

Dienstag, 25. November 2003 11:21

ASML Holding NV (Amsterdam: ASML<ASML.ASX>; WKN: 894248<ASM.FSE>): ASML will Tokyo Electron Limited (TEL) zusammenarbeiten, teilten die beiden Unternehmen am Dienstag in einer Pressemeldung mit. ASML und TEL wollen bei der Entwicklung von Litho-Clustern kooperieren und in Japan, den Niederlanden und den USA gemeinsame Kundenvorführungen veranstalten.

Die Firmen wollen mit ihren Forschungsbemühungen die Produktivität eines Litho-Clusters auf 150 Halbleiterscheiben pro Stunden verbessern. Ein Litho-Cluster besteht aus Streich- und Entwicklungsmaschinen, sowie Lithographiesysteme. Die Maschinen werden verwendet, um aus Halbleiterscheiben die Strukturen für die Transistoren zu ätzen und brennen, aus denen Halbleiter bestehen. Streichmaschinen und Photolithographieausrüstung sollen näher aneinandergerückt werden, um die Anzahl notwendiger Arbeitsschritte zu verringern.

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