Aixtron: Taiwanese nimmt Planetenreaktor-Anlage in Betrieb

HERZOGENRATH (IT-Times) - Der deutsche Halbleiter-Maschinenbauer Aixtron S.E. gab heute bekannt, dass ein taiwanischer Kunde eine Planetenreaktor-Anlage von Aixtron zur Herstellung einer neuen Generation von Leistungselektronik in Betrieb genommen hat.

Aixtron hat demnach eine AIX G5 WW (Warm-Wall) - Anlage zur Herstellung von Siliziumkarbid (SiC) an die taiwanische Episil Semiconductor Wafer Inc. geliefert. Episil stellt siliziumbasierte Bauteile zur Leistungssteuerung sowie von integrierten Schaltungen her. Das Produkt-Portfolio soll mit der neuen Anlage von Aixtron nun auch auf SiC-basierte Bauelemente ausgeweitet werden, so Dr. Ian Chen, Vorstandsvorsitzender von Episil.