Aixtron: Siltronic bestellt MOCVD-Anlage für GaN-Wafer Aktivitäten

So langsam scheint es wieder besser für den deutschen High-Tech Maschinenbauer Aixtron S.E. zu laufen und ein weiterer Auftrag aus Deutschland konnte an Land gezogen werden.

Der deutsche Wafer-Produzent Siltronic AG hat eine AIX G5+ C-Anlage bei Aixtron bestellt, um die eigenen GaN-Wafer-Aktivitäten (Galliumnitrid-auf-Silizium-Materialanwendungen) hochzufahren.

Die Siltronic AG verstärkt mit der vollautomatisierten Epitaxie-Reaktor-Anlage von Aixtron ihr Geschäft mit GaN-on-Si-Wafern. Die Anlage soll im vierten Quartal dieses Jahres an Siltronic ausgeliefert werden.

Siltronic hat sich auf Silizium-Wafer für die Halbleiterindustrie spezialisiert. Die neue Anlage soll die Herstellung von 150 mm- und 200 mm GaN-on-Si Epi-Wafer für Radiofrequenz (RF)- und Leistungselektronikanwendungen unterstützen.