Aixtron meldet Auftrag aus Japan

Anlagenbau

Donnerstag, 29. August 2013 12:48
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AACHEN (IT-Times) - Die japanische Air Water Inc. setzt bei der Entwicklung von GaN-auf-SiC-Verfahren auf Siliziumsubstraten von Aixtron. Der deutsche Hersteller von Depositionsanlagen liefert dazu einen Planetenreaktor nach Japan.

Der Hersteller von Industriegasen Air Water hat einen 8x6-Zoll Planetenreaktor von Aixtron zur Entwicklung von Galliumnitrid (GaN)-basierten Epitaxieschichten installiert. Man überlege bereits, die Anlage mit der AIX G5+-Technologie für bis zu 5x200 mm (8-Zoll) Siliziumsubstrate zu erweitern. Air Water entwickelt Siliziumkarbid auf Siliziumwafern für Hochleistungsbauelemente und LED-Anwendungen für die Verbindungshalbleiterindustrie.

Meldung gespeichert unter: Aixtron

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