Aixtron forscht mit Institut Lafayette an modernen Halbleitermaterialien
Organic Vapor Phase Deposition (OVPD)
HERZOGENRATH (IT-Times) - Der deutsche Spezial-Maschinenbauer Aixtron S.E. kündigte heute eine Kooperation mit dem Institut Lafayette an, um Lösungen im Bereich organische Depositionstechnologie (OVPD) zu entwickeln.
Demzufolge hat das französische Institut Lafayette eine Organic Vapor Phase Deposition - Anlage (Cluster-Anlage) von Aixtron installiert, die für Kundentests zur Verfügung steht.
Die Cluster-Anlage ist für die Herstellung von 200x200 mm-Substraten im Halbleitersegment gedacht und wurde an das Georgia Institute of Technology in Metz (Frankreich) ausgeliefert. Im Vorfeld wurde bereits ein MOCVD-System von Aixtron an das Institut Lafayette geliefert.
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