Aixtron: Chinas größter LED-Hersteller entscheidet sich für Reaktor zur LED-Produktion

Die San’an Optoelectronics Co., Chinas größter LED-Hersteller, hat einen Showerhead-Reaktor der Aixtron S.E. für die Herstellung von Ultraviolett-LEDs qualifiziert.

Es geht dabei um eine neu entwickelte Close Coupled Showerhead (CCS)-Prozesskammer von Aixtron zur Massenproduktion von Ultraviolett emittierenden (DUV=Deep Ultra Violet) LEDs, deren Fertigung extrem hohe Prozesstemperaturen benötigt.

Aixtron hat hierfür nun den ersten derzeit erhältlichen MOCVD-Produktionsreaktor präsentiert. Noch im letzten Jahr hatte sich das chinesische Unternehmen gegen den Einsatz von 50 neuen Aixtron AIX R6 MOCVD-Anlagen entschieden.